久久97精品久久久久久久不卡,92午夜少妇极品福利无码电影 ,免费看美女视频的软件,人妻AⅤ无码一区二区三区

技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 >半導體中的干蝕刻如何理解

半導體中的干蝕刻如何理解

更新時間:2020-08-31   點擊次數(shù):2978次

干蝕刻是一類較新型,但迅速為半導體工業(yè)所采用的技術。其利用電漿(plasma)來進行半導體薄膜材料的蝕刻加工。其中電漿必須在真空度約100.001Torr的環(huán)境下,才有可能被激發(fā)出來;而干蝕刻采用的氣體,或轟擊質量頗巨,或化學活性*,均能達成蝕刻的目的。干蝕刻基本上包括「離子轟擊」(ion-bombardment)與「化學反應」(chemicalreaction)兩部份蝕刻機制。偏「離子轟擊」效應者使用氬氣(argon),加工出來之邊緣側向侵蝕現(xiàn)象極微。而偏「化學反應」效應者則采氟系或氯系氣體(如四氟化碳CF4),經激發(fā)出來的電漿,即帶有氟或氯之離子團,可快速與芯片表面材質反應。干蝕刻法可直接利用光阻作蝕刻之阻絕遮幕,不必另行成長阻絕遮幕之半導體材料。而其重要的優(yōu)點,能兼顧邊緣側向侵蝕現(xiàn)象極微與高蝕刻率兩種優(yōu)點,換言之,本技術中所謂「活性離子蝕刻」(reactiveionetch;RIE)已足敷「次微米」線寬制程技術的要求,而正被大量使用中。

粉嫩极品国产在线观看| 最近中文字幕完整在线看一| 午夜香吻高清观看视频在线| 亚洲av无码一区二区二三区| 国模无码视频一区二区三区| 国产亚洲精品久久久久久无码网站| 欧美交A欧美精品喷水| 麻花豆剧国产mv免费| 日本大但人文艺术| 久久久不卡国产精品一区二区| 亚洲国产成人精品无码区99 | 亚洲av午夜成人片精品网站| 少妇性饥渴姓交hdsex| 92午夜少妇极品福利无码电影| 精品视频一区二区三三区四区| 精品国产不卡一区二区三区| 色欲综合一区二区三区 | 欧美精品久久久久久久自慰| 久久综合亚洲鲁鲁五月天| 国产av片在线| av无码国产精品午夜a片| 999国产精品999久久久久久| 少妇看a片偷人精品视频| 在线观看免费人成视频| 日本天狼无码久久久久影院| 精品国产日韩欧美一区二区三区| 亚洲A∨无码无在线观看| 丰满少妇在线观看网站| 国产亚洲精品久久久久久久软件 | 免费观看视频的app| 激情97综合亚洲色婷婷五| 人妻激情另类乱人伦人妻| 亚洲性爱视频| 国产精品国产亚洲区艳妇糸列短篇| 性欧美18-19sex性高清播放| 国产精品另类激情久久久免费| 中文无码一区二区三区在线观看 | 日韩精品一区二区av在线观看| 看av免费毛片手机播放| 久久久97精品国产一区蜜桃| 51视频国产精品一区二区|