久久97精品久久久久久久不卡,92午夜少妇极品福利无码电影 ,免费看美女视频的软件,人妻AⅤ无码一区二区三区

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 >外延層的雜質(zhì)分布

外延層的雜質(zhì)分布

更新時間:2020-05-13   點擊次數(shù):2206次

外延層必須是經(jīng)過摻雜的單晶層。從器件制造的角度考慮,總希望外延層具有均勻的一定量的單一雜質(zhì)分布,而且要求外延層與襯底界面處雜質(zhì)分布濃度陡峭一些。

SiCl4氫還原法外延由于在高達1200℃高溫下進行,襯底與外延層中雜質(zhì)相互擴散,從而使襯底與外延層形成雜質(zhì)濃度緩變分布,這就是外延中的擴散效應(yīng)。這種效應(yīng)是可逆的,生成的HCl對硅有腐蝕作用。在襯底腐蝕的同時其中雜質(zhì)就釋放出來,加之在高溫外延過程中,高摻雜襯底中的雜質(zhì)也會揮發(fā),此外整個外延層系統(tǒng)中也存在雜質(zhì)的沾污源,這三種因素造成的自摻雜效應(yīng)嚴重影響了外延的雜質(zhì)分布,外延電阻率做高也不容易。

SiH4熱分解法反應(yīng)溫度低,其化學(xué)反應(yīng)激活能是1.6eV,比SiCl4小0.3eV,可以在1100℃時獲得與1200℃下SiCl4反應(yīng)時相當(dāng)?shù)纳L速率,同時這種方法不產(chǎn)生HCl,無反應(yīng)腐蝕問題,因而擴散效應(yīng)和自摻雜現(xiàn)象不如SiCl4嚴重。如果采用“背封”技術(shù)和“二步法”外延,用SiH4熱分解法就能獲得較為理想的突變結(jié)和濃度分布。

野花香在线视频免费观看第一集| 成人免费a级毛片无码片2022| 国产在线观看无码免费视频| 无码精品a∨在线观看免费| 男男车车的车车网站w98免费| 国产亲妺妺乱的性视频| 精品国产乱码久久久久久郑州公司 | 国产乱妇无码大片在线观看| 国产精品一区二区久久国产| 精品国产一区二区三区色欲| 麻豆一区二区三区精品视频| 亚洲爆乳无码精品aaa片蜜桃| 欧美人与牲动交xxxx| 特级bbbbbbbbb视频| 青草久久欧美又黑又粗又大| 免费av一区二区三区| 性按摩XXXX在线观看| 亚洲 都市 校园 激情 另类| 国产美女被遭强高潮免费网站 | 国产做a爰片久久毛片a片美国| 大学生第一次破女处视频| 公侵犯玩弄漂亮人妻优| 中文在线 | 中文| 一区二区三区在线 | 欧| 晚秋影院手机在线观看免费| 偷玩朋友熟睡人妻| 午夜天堂精品久久久久| 日本精品久久久久中文字幕| 色欲av成人片无码网站网| 亚洲国产精品精华液| 国产suv排行榜前十名| 亚洲另类欧美综合久久图片区| 国产美女视频国产视视频| 国产亚洲日韩欧美另类丝瓜app| 欧美老妇牲交videos| 中文字幕韩国电影| h漫无码动漫av动漫在线播放| 国产精品亚洲一区二区久久| g片男a同志y免费网站| 精品国产乱码久久久久久蜜桃网站 | 青春草无码精品视频在线观看|